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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：半導体工場の純水確保）
半導体工場の純水確保
2023/10/20 14:23
このQ&Aのポイント
- 半導体工場で使用する水の純水確保についての問題が浮上しています。
- サムスン・ＳＫハイニックスの超格差戦略に影響を及ぼすピンチに直面しています。
- 水道水を逆浸透膜通して使う方法には何らかの問題があるようです。
※ 以下は、質問の原文です
半導体工場の純水確保
2020/07/30 16:54
＞韓経：「水確保できず」…ピンチに陥ったサムスン・ＳＫハイニックスの超格差戦略
半導体工場で使用する水って、おそらく水道水を逆浸透膜通して使ってるわけですよね？
一度洗浄に使った水をもう一回ろ過して逆浸透膜通して使うのは何がまずいのでしょうか？
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その他の回答 （2件中 1～2件目)
一度、工程内で使用した水には半導体素材や、その他の加工に用いた多量の物質が含まれています。水道水の数百倍とか数千倍の濃度でしょう。
半導体の加工に用いる水は逆浸透膜で濾過できる物質のみを取り除いてもダメで、水に溶け込んでいるイオンも取り除く必要があるのでイオン交換樹脂などを使っていますが。一度、工程内で使用した水には水道巣よりはるかに多くの不純物を含むので、それを使用すると、水にかかるコストが跳ね上がってしまうでしょう。半導体工場で使用した水は多量の化学物質や金属イオンなどを含むため、廃棄する際にも十分な処理をしてからでない下水として流すことも出来ないぐらい汚れているんですよ。特に半導体生産では致命的な汚染をもたらす物質を大量に含んでいますので、再利用は難しいでしょうねぇ。
お礼
2020/08/01 11:05
ご回答ありがとうございます、致命的な汚染物質ってなんでしょうか？
お礼
2020/08/01 11:09
水の消費量としてはウェーハーよりエッジング装置が多いのでしょうか？
ウエーハーのほうはろ過して半透膜とイオン交換幕とおせば使えるんじゃないの？と思いますがエッジング装置はなんかフッ素酸塩もりもりそうで面倒そうですね。
ご回答ありがとうございました。