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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：高純度水素ガス濃度について）
高純度水素ガス濃度について
2023/10/20 08:19
このQ&Aのポイント
- 高純度H2ガスの充填における残留窒素ガスの影響について検証します。
- 高純度H2ガスの濃度変動に関して、残留窒素ガスの存在は無視できるレベルです。
- 純度の低下や極端な変動はなく、安定した高純度H2ガスを充填することが可能です。
※ 以下は、質問の原文です
高純度水素ガス濃度について
2020/03/12 11:40
現在、高純度H2ガス（６N、99.9999%))を石英真空チャンバー（容積０．４L）へ充填しています。 充填流量は１Ｌ／ｍｉｎ 連続
上記の真空チャンバーの上流配管部 （Ｈ２ガスの開閉バルブとチャンバー間）に残留窒素ガスが 10cm3程度 存在します。
上記 高純度Ｈ２ガスの濃度に影響しますでしょうか？ 純度の低下、99.999%が極端に変動する事と成りますでしょうか？ 1.0l/minで連続的にパージング行いますので、上記残留Ｎ２ガスの存在は無視できるレベルとなりますでしょうか？
回答 （1件中 1～1件目)
チャンバーをビストン構造にして、配管と流量が断面を通るようにした装置をつくり、その状態で一旦ロータリーポンプ (油回転ポンプ)を気圧が低気圧に安定収束するまで運転し、それを配管のバルブ切替でオイルデフュージョンポンプ (油拡散ポンプ)の回路につないで、再度気圧が低気圧に安定収束するまで運転し、もう一度ターボ分子ポンプでほぼ真空にして、チャンバーを高温に焼いて、壁についたガスを除きます．
1日たってチャンバーが冷えた後、そのごピストンをシリンダーが拡大するように拡げて、それから高純度Ｈ２ガスを導入し、連続して数日ロータリーポンプで引いた後に、＾６に到達するでしょう．
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