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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：排気機構と真空ポンプとは同じですか）
排気機構と真空ポンプとは同じですか
2023/10/20 02:36
このQ&Aのポイント
- 液晶パネル基板を加熱するチャンバーの内部を排気して真空にする排気機構と真空ポンプは類似していますが、完全に同じものではありません。
- 排気機構は、液晶パネル基板を加熱して内部のガスを排気し、真空状態を作り出す装置です。
- 一方、真空ポンプは、チャンバー内のガスを吸い込んで排気する機構を持ったポンプで、排気機構とは異なる仕組みを持っています。
※ 以下は、質問の原文です
排気機構と真空ポンプとは同じですか
2019/06/11 23:48
液晶パネル基板を加熱するチャンバーの内部を排気して真空にする排気機構は、概ね、真空ポンプと同じものでしょうか?
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