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解決済みの質問

排気機構と真空ポンプとは同じですか

液晶パネル基板を加熱するチャンバーの内部を排気して真空にする排気機構は、概ね、真空ポンプと同じものでしょうか?

投稿日時 - 2019-06-11 23:48:02

QNo.9625018

困ってます

質問者が選んだベストアンサー

一般的な文献を読む上では、そのように理解していればよさそうに思います。
とはいっても、真空ポンプは、排気機構の一部を形成する要素でしょうから、液晶パネル製造装置の構造を詳述する文献では、使い分けをしている場合もあるでしょう。

投稿日時 - 2019-06-12 02:18:00

ANo.1

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回答(2)

ANo.2

各業界や組織ごとの用語運用の問題となり、これといった「正解」はないと思います。

ただ、「排気機構」となると、複数の真空ポンプやバルブを組み合わせたシステムといったイメージを受けやすいです。
例えば、粗びきドライポンプ、粗びきバイパスバルブ、ターボ分子ポンプを組み合わせたシステムなどです。

投稿日時 - 2019-06-12 09:45:18

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