真空メーカーの装置が行う作業とは？

真空ポンプといっても到達真空度で色々な種類があり、それぞれの用途があります。

低真空ポンプ(30kPa abs、-70kPaGくらい)
例：シングルステージのダイアフラムポンプ
吸着搬送など、市販冷蔵庫の真空チルドもこれくらい。

低真空ポンプ(3kPa abs、-97kPaGくらい)
例：ダブルステージのダイアフラムポンプ
ガス置換のための真空排気など

中真空ポンプ(10～100Pa absくらい)
例：3段ダイアフラムポンプ、小型スクロールポンプ、シングルステージ油回転ポンプなど
高背圧対応の高真空ポンプの荒排気(フォアライン)、真空乾燥、エアコン冷媒配管の真空排気もこのくらい

中真空ポンプ(0.1～10Pa absくらい)
例：大型スクロールポンプ、スクリューポンプ、多段式油回転ポンプ、メカニカルブースターポンプなど
酸化防止のあまりいらない真空熱処理、真空乾燥、高真空ポンプの荒排気(フォアライン)など

高真空ポンプ(10^-5～10^-3Pa absくらい)
例：ターボ分子ポンプ、油拡散ポンプなど
真空熱処理、CVDやPVDといった成膜、電子顕微鏡もこれくらいが多い
プラズマ核融合装置

超高真空ポンプ(10^-8～10^-6Pa absくらい)
例：スパッタイオンポンプ、チタンスパッタポンプ(蒸発型ゲッターポンプ)、クライオポンプなど
MBEなど半導体成長など、表面分析装置、加速器

極高真空ポンプ(～10^-9Pa abs)
例：非蒸発型ゲッターポンプ
非常に清浄度が要求される表面分析など

といったところでしょうか。

高真空ポンプ

お礼

2019/05/25 10:54

色んな情報、ありがとうございました。

質問者

＞真空（ポンプ）メーカー、いくつかありますけど

真空ポンプとは言っても
強力型掃除機程度の低真空から、宇宙空間クラスの高真空まで
https://www.ulvac.co.jp/products_j/components/vacuum-pump
https://www.anlet.co.jp/vacuum_pump/usage/
ポンプメーカサイトに使用事例は沢山記載されてるけど、見てないの？


有名どころで
衛生車（バキュームカー）
https://www.morita-econos.com/hygiene/hygiene/index.html
ＣＶＤ装置
https://www.samco.co.jp/company/primer/2011/03/cvd_1.php
電子ビーム加工機
https://www.mitsubishielectric.co.jp/fa/products/mecha/ebm/pmerit/index.html
電子顕微鏡
https://www.hitachi-hightech.com/jp/science/technical/tech/microscopes/

お礼

2019/05/29 19:30

サイトの紹介ありがとうございました。

質問者

フリーズドライも真空活用の一端ですね。元々薬学系から食品に流用されているものなので、そっちの分野でも当然活用されてます。
http://www.cosmosfoods.co.jp/freezedry/whats.html

探すと思ったよりボロボロ出てきますね

お礼

2019/05/29 19:31

フリーズドライがそうだとは驚きです。

質問者

エアコンにガスを入れる前に真空引きしてをして空気を抜く。
電子部品を作るとき、内部に絶縁グリスを入れる前に温度を高くして真空引きして完全充填できるようにする。
蒸着メッキするとき、真空にして金等をヒーターで蒸発温度まで高温にし飛ばして均一にメッキをする。
食品を短時間で乾燥させたい時、真空引きする。
その他、実験では空気が邪魔になることが多く真空状態にする。

お礼

2019/05/29 19:32

いろいろありがとうございます。

質問者

真空成型とか
https://www.youtube.com/watch?v=vq8gP1I0a7Q

真空焼入れとか
http://nippa-kk.co.jp/%E7%9C%9F%E7%A9%BA%E7%84%BC%E5%85%A5%E3%82%8C%E3%81%A8%E3%81%AF/


工業では引っ張りだこですよ

お礼

2019/05/23 08:52

真空技術のすごさがわかってきました

質問者