真空バルブ取り付けについて

先の方が述べているように、リークレートで考慮すべきです。
例えば、Swagelok社のボールバルブの公称性能は0.1 std cm^3/min(0.1sccs=10^-4Pa m^3/s)です。
1分間に水滴1個分ほど大気が侵入する計算になります。他社のバルブも同程度から10倍程度とみなせばよいでしょう。
この値で十分なシールといえるかの判断となります。

真空用バルブだとSMCのXLSシリーズやVATの24シリーズなどで10^-10Pa m^3/sとなり、6桁ほど漏れが減ります。
SwagelokのベローズシールのBシリーズやダイアフラムバルブも10^-9 std cm^3/sですのでほぼ同等性能といえます。

他のフランジや継手の性能も効いてくるので一概には判断できません。

お礼

2018/08/28 16:12

ご回答ありがとうございました.
ボールバルブで問題ないとのことですので,そちらで検討致します.
リークレートなど知らない言葉をご教授いただき大変勉強になりました.
システム全体で漏れを考慮して設計を進めてまいります.

質問者

圧力としては通常のボールバルブで全く問題ない範囲ですが、真空を保つべき容器の容量や真空を保つべき時間などによっては問題が出ないとも限りません。

容器の容積が小さく保つ必要がある時間が短いほどバルブに対する要求は厳しくなるので、そのあたりの事を勘案して決めるべきでしょう。

例えば比較的小さな（100ｌ未満とか）で数日間とか高精度で一定に保つとか言うのであれば通常のバルブを使用するのは問題が出ることもあるでしょうけれど、ある程度大きな容器で数時間とかで真空度の安定度もそれほど厳密でなくてよい用途なら、通常のボールバルブでも問題は無いでしょう。

お礼

2018/08/28 16:11

ご回答ありがとうございました.
ボールバルブで問題ないとのことですので,そちらで検討致します.
またほかに顧慮すべき項目についてもご教授いただきありがとうございます.真空を保つべき時間についてよく検討致します.

質問者