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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：SEMの二次電子検出器のシンチレータについて）
SEMの二次電子検出器のシンチレータとは？
2023/10/19 20:45
このQ&Aのポイント
- SEMの二次電子検出器のシンチレータとは、観察試料から出てくる二次電子を検出するために使用される材料です。
- このシンチレータは、蛍光物質が塗布された二次電子検出器の前面に存在します。
- 具体的な材料については情報が限られていますが、SEMにおいて重要な役割を果たしています。
※ 以下は、質問の原文です
SEMの二次電子検出器のシンチレータについて
2018/07/29 00:08
こんにちは。
SEMについて色々と調べている者なのですが、観察試料から出てくる二次電子を検出する二次電子検出器（またはE-T検出器）のシンチレータ部前面に塗布されている蛍光物質はどんな材料なのかをご教示してもらいたく、質問させてもらいました。
幾分、ネットで色々と調べているのですがそこまで詳しく載っているサイトはなかったので、もしご存知の方がいらっしゃればと存じます。
ご教示の程、宜しくお願いします。
質問者が選んだベストアンサー
有名なのはZnS：Agとかだと思いますが
最近だと色々な材料が使われていると思います。
計測レート上げるには高速蛍光体が必要ですし
感度上げるなら効率高いほうがいいですね。
（多分特許化されてるので特許庁の出願検索するのが早いかと）
https://www.hamamatsu.com/jp/ja/product/optical-sensors/electron_ion-sensor/fast-decay-phosphor/index.html
http://www.chem.utsunomiya-u.ac.jp/lab/mukizai/keikou.pdf
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お礼
2018/07/29 14:57
なるほど！
ZnS:Agなどが用いられていましたか！
浜松ホトニクスのサイトでデータシートを見てみたのですが、どんな材料を扱っているかまでは記載されていませんでしたね・・・。やはり特許が絡んでいるのでしょうか？
ご回答ありがとうございました。