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MOS Tr.のC-V曲線の読み方と評価方法
2023/10/19 20:38
- MOS Tr.のC-V曲線を測定する際の読み方と評価方法について教えてください。
- C-V曲線からはどのような特性が読み取れるのか、具体的な解説をお願いします。
- LCRメーターを使用してC-V曲線を測定する方法についても教えてください。
半導体のMOS Tr.のC-V曲線の読み方について
2018/07/15 12:47
半導体のMOS Tr.のC-V曲線の読み方について教えて下さい。
MOS Tr.を開発/評価するときに、C-V曲線を測定しますが、
その読み方/評価の仕方がよく判りません。
C-V曲線からどのような特性が読み取れるのでしょうか？
また、測定はLCRメーターで測定するのでしょうか？
NMOSを例に、判りやすく具体的に教えて下さると助かります。
よろしくお願いします。
回答 （1件中 1～1件目)
＞NMOSを例に、判りやすく具体的に教えて下さると助かります。
そう思うのでしたら、
書籍などを購入されたほうがいいです。身銭を切らないと頭に入りませんよ。
QAサイトでは最初の足がかりを教えてもらって、そこからは自分で勉強するものでは？
そうしないと自分の知識として根付きません。それでは回答自体も無駄になりますよね。
とりあえずは、ここを読んでください。
https://www.keysight.com/upload/cmc_upload/All/BasicOfCV_mgmt.pdf
people.seas.harvard.edu/~jones/es154/lectures/lecture_4/pdfs/6.152J.FT01.MOSCap01.pdf
C-V曲線で何が判るかと言うと
印加電圧によりゲート下が、導電層なのか（ゲート絶縁層の容量、材質がわかっていれば厚さ）、空乏層なのか、反転層なのか、基板上下方向の不純物拡散プロファイルがどうなっているのか など
MOSのゲート絶縁膜の下の情報がいろいろ判ります。
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