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締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:真空蒸着について)

真空蒸着とは?

2023/10/19 20:31

このQ&Aのポイント
  • 真空蒸着は、蒸発した金属の気体が原子状態で存在する技術です。
  • 真空蒸着では、金属が加熱されて蒸発し、真空中で冷却されることにより、原子状態の金属が生成されます。
  • この原子状態の金属は、薄膜の形で基板上に堆積させることができます。
※ 以下は、質問の原文です

真空蒸着について

2018/07/04 09:57

真空蒸着において、蒸発した金属の気体は真空中では原子状態で存在するのでしょうか?イオン?

回答 (2件中 1~2件目)

2018/07/04 10:46
回答No.2

蒸発金属は昇華した粒子(原子・分子)です。活性化反応性蒸着では、イオン化したガスと蒸発金属を反応させます。

お礼

2018/07/04 20:08

原子、分子状態なのですね。ありがとうございます。回答1の方もありがとうございます。

質問者

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質問する
2018/07/04 10:36
回答No.1

減圧化の加熱蒸発したものなので原子と考えられます。

お礼をおくりました

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