スパッタ装置の光学窓の汚れ防止と清掃方法

ピカールはアルミナ粉末を油脂に練りこんだものです。ですので、超高真空部品に使用すると表面の微細な凹凸にアルミナ粉末と油脂が詰まってしまい、常温での洗浄では除去しづらい状態となります。
このため、有機炭素汚染を発生させやすくなるという意味でオススメしづらいです。
(加温状態で脱脂剤や有機幼児での超音波洗浄をしっかりすれば大丈夫でしょうが)

あと、紙やすりでの研磨もあまりお勧めしません。窓材に微細な傷を入れてしまい、ベーキング時などに応力集中を発生させ割れる事故が起きやすくなります。
また、光学的に透明な状態にしようとすると普通に売ってる10000番とかのラッピングフィルムクラスの番手の高さを要求さるるので費用対効果に劣ります。

差愛護にピカール研磨がITOコートに使えないと書いたのは帯電防止などあらかじめITOで導電性を確保している製品ではITOコートを削り落として導通不良トラブルを発生させるからです。

おばーちゃんの知恵袋じゃないが
水＋サンドペーパーで落ちます
https://minkara.carview.co.jp/userid/226161/blog/31180027/

ダイヤモンドだと研磨します
http://www.kis.gr.jp/page/diamond.html

激落ちくん(100均で売ってるやつ)
だと　スパッタ汚れはきつそう

よく見かけるのはビューポートシャッターという部品をビューポートの前に設置する方法でしょうか。
スパッタ時はシャッターを閉じて、ビューポート表面への付着を防ぎます。
あとはビューポートの前にガラス版を設置して汚れを肩代わりさせるっていうのをどこかで見たけど見つかりません。

あと、真空度が低くて有機炭素汚染に鈍感なシステムならピカールでの研磨が有効です。
スパッタ膜程度なら結構簡単に削り落としてくれます。
当然ITOコート部品にじは使えません。

お礼

2018/04/28 21:11

ピカールは，ITOスパッタ装置には，使えないという結論でよろしいでしょうか．
真空度は一度10-8Paまでさげますので．

ビューポートシャッターは便利そうですね．検討してみます．

質問者