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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：水晶への金属蒸着）
水晶基盤への金属蒸着：はがれにくい金属膜を生成する方法とは？
2023/10/19 18:41
このQ&Aのポイント
- 現在、水晶基盤への金属蒸着を行っています。装置は電子ビーム加熱型の真空蒸着装置を利用しています。
- 金属膜の厚みは100 nm程度で、バッファーとしてチタンを5 nm程度を使用しています。
- この条件で製作した基盤を実験に用いているのですが、実験途中に簡単に金属膜がはがれてしまいます。よりはがれにくい金属膜を生成するため、何か良い方法はないでしょうか？
※ 以下は、質問の原文です
水晶への金属蒸着
2018/04/07 15:59
現在、水晶基盤への金属蒸着を行っています。
装置は電子ビーム加熱型の真空蒸着装置を利用しています。
金属膜の厚みは100 nm程度で、バッファーとしてチタンを5 nm程度を使用しています。
この条件で製作した基盤を実験に用いているのですが、実験途中に簡単に金属膜がはがれてしまいます。
よりはがれにくい金属膜を生成するため、何か良い方法はないでしょうか？
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補足
2018/04/07 21:34
回答いただきありがとうございます。
真空度は10^(-4) Paのオーダーです。
蒸着時の水晶基盤の温度は最初は室温程度(25℃前後)ですが、蒸着開始と同時に温度が上がっていると考えられます。