水置換乾燥について

回答（1）さんの回答で　ほぼ言い尽くされていると思います。

小量生産ならばフロン系の洗浄剤を
大量生産ならばIPAなどのアルコール系の洗浄剤を
お使いになられるのが有利かと思います。

また最初に立ち返ってしまいますが
洗浄剤は純水のままでブローするクリーンエアーを
窒素などに変更するなどの試行は行われたのでしょうか？

なんというかほとんど無い物強請りです。

ご使用の純水の純度がどの程度なのかわかりませんが、超純水に近いレベルであるなら代替は絶望的です。
極度の清浄度が要求される超高真空機器、特に大電力高周波にさらされる粒子加速器の加速空洞の最終洗浄には超純水が用いられています。
他にも半導体の成長基板も超純水洗浄が利用されていたと思います。

蒸留水に近い純度であれば純度向上を考えた方がよいのではと思います。

もし、ワークから金属溶出などで問題が起きているなら溶剤洗浄の方がよくなります。

たさ、「蒸発乾燥が可能」=「蒸気圧が低い」=「引火しやすい、吸入しやすい」です。

通常の洗浄剤である炭化水素ベースだとどんな物質も可燃性を持つので蒸気になった時点で引火性を有することになります。

ハロゲン化炭素ベースならある意味燃えた後の様なものなので不燃性の洗浄剤もあるようです。
ただ、塩素、臭素系だと発がん性などの生物毒性を持つものばかりだと思います。
フッ素系なら極めて安定なので不燃性で毒性も無いというものもあるようですがとても高価です。

要求仕様だとフッ素系洗浄剤も候補になりそうでしょうか。
いろいろな会社が出しているみたいです。