薬液飛散環境でのシリンダポジション検出方法

再出です。

シリンダも、塩ビＢＯＸ内に収納し、配管や配線をＢＯＸから出す時は、塩ビやフッ素樹脂の

楔原理の継ぎ手を使用し、ＢＯＸ内はN2パージ等で与圧にし、リン酸の浸透も防ぎます。

そして、スペースは大きくなりますが、塩ビかSUS316Lに塩ビを被覆した棒のみがＢＯＸから

出る格好で、可動部は丸棒なのでＯリングでシールすると、シリンダのオートスイッチが

ＢＯＸ内環境なので使用できます。

蓋を透明塩ビにすれは、ランプにて動作確認もできます。

シリンダの全てがSUS316にならないなら、シリンダをBOX内隔離して使用がベターですよ。

半導体でも、H3PO4は良く使用します。

そして、薬液（リン酸70％）が飛散する装置の駆動源に、金属部はオールステンレスの部分も

大丈夫ですかね？（URLでも確認できるように、SUS316オールでないと問題ありですがね）

さて、問い合わせ内容は、リン酸の飛散から隔離することでの対応がベストです。

具体的には、

? 投受光PHセンサを透明PVC（塩ビ）BOXの中に入れる（温度は、ＲＴの条件です）
　 塩ビは溶接もできますし、ＢＯＸ構造は比較的容易にできます

? 軟ビ等のパンキンと蓋でねじ止めする

? センサのコードは、市販のPVC又はフッ素継ぎ手シールする

? 更に気密性保持のために、減圧したN2パージをし、与圧でリン酸の侵入を防ぐ

半導体では、樹脂製のシリンダやフッ素コーティングのシリンダを高価ですが作成しています。

RT：室温（ルーム・テンプ）