シリコン酸化膜、窒化膜、酸窒化膜の違いについて

再出、

> 標題の通りですが、調べたところゲート絶縁膜や保護膜として、…
なので、回答（１）さんが“ゲート絶縁膜”記載なので、小生は“保護膜”記載しております。

戻って、“ゲート絶縁膜”/“ゲート酸化膜”は、そのニーズからの視点で
? 集積技術で数量が増大し、消費電力もそれに比例して増大することを防ぐ目的で
　 低電圧作動仕様になってきている
　 （動作スピードも問題になって、“光”化の政府主導プロジェクトも存在した）
? ボロンフリー技術は数世代前からの取り組みで、スルー電流の要因排除をして、より
　 恒久的に安定した作動をさせている
? “ゲート酸化膜”周囲からの恒久的なドーピングを防ぎ、?の目的を達成するバリア
　 的意味合いを持たせる必要がある
等々があり、
薄く低電圧作動で消費電力低減、しきい値電圧の安定化工法と手段、周囲材料からのドーピング
防止工法と手段を、ニーズから確認することが肝要です。

ニーズは、発明の母ですから、そのようにしたい/なる物を作るので。

取り敢えず、以下のURLが参考になるかと思います。

因みに回答(2)は頓珍漢、出鱈目のまき散らし嫌われ者ですから相手にしない方が良いです。
回答(2)追記でも「ハァ？」と思ったでしょ。

回答（１）さんの内容の如くです。
そして、当初は“シリコン酸化膜”が作り易かったので使用したです。

> また同様の用途で別の層が存在するようでしたらご教授下さい
同様の用途？で、貴殿の要望に合致しないかもしれませんが、パシベーション膜です。

そうですね、それと積層化集積技術で、CMPする膜もです。