酸化銅の膜厚測定について知りたい

その?

それなら、又々ですが、今度はキーエンスさんに、サンプルを提供し、測定できないかを

打診してみる。

キーエンスさんの既存のセンサ技術と、各大学が連携しているので、新提案がでるかもしれません。

ちょっと、割高になるかもしれませんがね。

使えそうなものだと

エリプソメーター：
　干渉式膜厚計としてテスト済み？

変位計：
　マスキングをしたテストピースと同時加工して段差測定。
　測定にはAFM(原子間力顕微鏡)やキーエンスSIシリーズ変位計を利用。
　分解能1nm位行けるはず。

共焦点型変位計：
　キーエンスLTシリーズ変位計もテスト済み？
　分解能10nmはあるみたいですが。

X線反射率膜厚計：
　表面粗さまで測定可能
　とても高額

吸光による膜厚推定：
　FTIRで測定可能らしい。
　ほかに酸化銅の透過波長と吸収波長を同軸照射して散乱反射光の
　強度比を測定すれば膜厚に換算できるかもしれません。
　(膜厚既知の標準試料で校正)

干渉計が使えないということは表面粗さが100nm以上あるということなので
10nm精度は厳しいかもしれません。

　

＞数百nm～数μm

nmレベル　よりむしろ　μレベル　サブμレベル　と言うことが多いです。また“有色”すなわち目視可能であり

　　http://www.keyence.co.jp/microscope/special/3dprofiler/vkx/compare/
　　形状解析レーザー顕微鏡
　　見た目や手触り。“違い”を数値化

のような光学的機器がよいのでは。“針状結晶”なので膜厚数値をすぐ出してくれるかは検討要。

精度不足というのは・・・
針状すなわち凸凹な膜では箇所によるバラツキも大きく精度に拘る必要有りや無やに・・・所望測定レンジが大きいことも精度を期待しにくい。

＞断面出しをして顕微鏡で見れば膜厚は分かる

その箇所では確かでも全般的にはそれほどとは思えません。

めっきなどでも一桁目だけで良しとするか、数％のバラツキは問わないのが普通(ターゲットも均一性高い無電解は精度良い寸法測定ができるが電気めっきは箇所で数倍のバラツキ)。

　　JISH8501 めっきの厚さ試験方法
　　…次のような因子が，測定精度に影響を及ぼすので注意する…　　

測定法ごとにこのような抽象的書き方をして、数値で示すものは無い。

「電子顕微鏡では、電子線の持つ波長が可視光線のものよりずっと短いので、理論的には分解能は0.1ナノメートル程度」
見られるということは写真にも撮れるだろう。。。
良く科学雑誌にの拡大写真の脇に、+++ nm という目盛がありますけど。。。

あまり良い使用法ではありませんが、URLに依頼してから、

? 機器を購入して、使用した方がトータルコストで有利

? 都道府県の工業技術センターを活用した方がトータルコストで有利

? URLに引き続き依頼した方がトータルコストで有利

で決定するのも一考です。