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締切り済みの質問

搬送中のウエハ

お世話になります。
真空装置内で搬送中のウエハに割れ・欠けが無いか、検出できるセンサはないでしょうか?

投稿日時 - 2014-10-21 11:01:00

QNo.9473365

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回答(2)

何処まで検出か不明ですが、処理後に検査機に掛けた方が良いのでは?

投稿日時 - 2014-10-25 14:36:00

高精細画像処理やシュリーレン撮像で可能です。
装置ローダーのオプション指定できますよ。

投稿日時 - 2014-10-21 12:24:00

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