SUS304の耐食性とは？KOH水溶液での影響は？

半導体洗浄で、アルカリ洗浄にKOHはよく使用します。

SUS304の耐薬品性を調べれば、KOHも出ていた記憶があります。

他の回答者さんも記述していますが、大丈夫でしょう。

そして、できれば他の工程からの汚染等を考慮して、SUS316Lにした方がベターでしょう。

大きさ等で、コストがあまりにも異なるのであれば、SUS304でも可ですが。

他に、表面（仕上げ）状態の規定とかはないのでしょうか？

厳しく規定があれば、SUS316Lに比重を置きたくなりますが。

半導体洗浄で、アルカリ洗浄は、KOHの他にポピュラーなNaOHもしようしていました。
SUS製材料で。

お礼

2012/01/16 09:03

回答ありがとうございます。
表面処理の規定はないので、SUS304で検討しようと思います。また、コスト面であまり変わらなければSUS316Lにしたいと思います。
NaOHも合わせて色々ご教示頂き助かりましたm( _ _ )m

質問者

KOH はアルカリ性。
ステンレスは強酸と、中性でもNacl、Kcl のハロゲンイオンには孔食という腐蝕現象があり要注意。
KOH なら高濃度、煮沸するような高温、それにハロゲンが混合するような条件でないかぎりは大丈夫でしょう。

　　http://www.jcw.jp/PDF/TechnicalSheet2.pdf
　　P.7
　　ＮａＯＨ　で鋳鉄、黄銅、SUS304に◎　アルミは×

詳しいデータも簡単に調べられるがキリがない
　　http://www.kyoritsu-metal.co.jp/product/s_data_2.php4
　　SUS302、303、304、316、310S
　　ＮａＯＨ　濃度70％以下、かつ沸騰しない条件では
　　全てＡランク
　　溶出量 0.1128g/m2/hr 以下。その条件外すと全てＢランク

これらオーステナイト系ステンレスは、表面をクロムが覆い酸化膜を形成するから錆びない、の原理は共通なので品種では似たり寄ったりで、その程度と思います。

お礼

2012/01/16 09:07

回答ありがとうございます。
高濃度ではございません。温度も煮沸しない70℃程度です。SUS304で検討したいと思います。
資料のリンク頂き助かりましたm( _ _ )m

追記ありがとうございます。
KOHに対して、なかなか詳しいデータが簡単に調べられなかったので助かりました。確かにオーステナイト系なので性状は近いものと想像はしておりましたが、KOHがNaOHよりも強アルカリだったもので・・・

質問者