０．２ｍｍガラス板にφ０．８ｍｍ穴加工

Question

今度　０．２ｍｍの平ガラス板（３００×３００）にφ０．８mm穴
１００か所をあけるＭＣ加工をしたいと考えています。
金属加工とはことなりますので、加工工具　治具　加工条件は全く把握できていません。
なにかいい解決策ありませんでしょうか。
よろしくお願いいたします。

Accepted Answer

回答（１）（３）再出

失礼赦免で評論しちゃうと

回答（５）
スラスト力の心配は共感します。しっかりした板に密着して受けないと割れるおそれ。特に抜け口がどうなるか問題。

＞・送り速度：0.0003mm/rev　・ステップ量：0.05mm
がキモ。回転もさることながら、その滑らかな送りは0.001単位の機械では難しい面があります。
このばあいＦ３　　！！　Ｆ１桁送りと混同したらヤバイしＦ2.5は設定出来ない。

回答（４）
マイクロブラストはこの加工ならベストのように思います。実地見学されたとは羨ましい。

回答（２）
仕事で悩んでおられる質問者に獣道を示し、余計な手間をかける回答はやめるべし。

＞半導体製造装置の石英部品加工
　　　回答（３）で名前を伏せると自分で調べも出来ない。Y･ahoo! 検索も出来ない？
　　　電子ビーム加工なんだが、、、高融点金属材料は、小さな電子放出陰極の部品に使われるに
　　　すぎなく、断じてそれは装置全体や加工法を指すものではない。
　　　加工と言い難いほど微細で、能率でレーザー加工に遥か及ばないから回答（１）では除外した

＞職人のノウハウのかたまり
　　　億はするが装置は買える。職人ではないオペレータが動かすもの
＞中々オープンにはなっていません
　　　真空中だから、、、

Answer

0.2mmと板厚が薄くドリル加工のスラスト力が一寸心配ですが、穴径が
φ0.8なのでドリルの肩が当たる前に先端部が貫通するので大丈夫？
もし、割れるようでしたら、ドリルと同様の材質（超硬合金＋ダイヤ
モンドコーティング）のφ0.5エンドミルによるヘリカル穴加工も
一案かもしれません。

また、小生も回答(3)氏と同様に、ドリル加工における機械主軸の回転数
不足を直感的に懸念しましたが、
http://www.mitsubishicarbide.com/mmc/jp/product/pdf/b/b094j.pdf
をみると石英ガラスのφ1.0における推奨切削条件例として、
・主軸回転速度：10,000min-1
・送り速度　　：0.0003mm/rev
・ステップ量　：0.05mm
と記載されているので、一般のマシニングセンタで対応できそうですね。

＞回答(6)
案ずるより産むが易し...
使用機械が不明であり、ご意見はごもっともですが、
とりあえずn10000min-1，F3.でトライしてみることが
先決かと。

Answer

10年以上前に微細加工用のショット(マイクロブラスト)を見学させて頂いた事があります。

当時でもセラミック・ガラス など難削材を見事な微細加工をやっておられた。

100ｹ所の穴あけなら この方法が良いと思うが・・・・。

関係会社の他社でも同様だと思われる。
http://www.fujimfg.co.jp/ApplicationChoseimitsu.htm

Answer

回答（１）再出
ドリルは低速な場合、食い付きが心配です。滑ったらポッキリ。
三菱マテは知りませんが、短い方が勝つでしょう。

低速を補う次善策としてリュータ（モーター）のタイプの増速ユニットがあります。ギア式増速はダメ。
　　http://www.nsk-nakanishi.co.jp/industrial/hpms/hes/
歯科用も手掛けるナカニシの高級品。手動やロボット取付で実績良好。

→回答（２）
＞高融点金属材料を使用して、熱による穴加工かな

コトバが抜けているから、そのままでは理解不能で調べようもない。
想像する方式はあるが穴あけには非実用的。

Answer

小生も、ウォータージェットのメーカーにサンプルを送って、加工してもらって、
結果を確認し、M/C購入か加工依頼をすればと考えます。

それか、高融点金属材料を使用して、熱による穴加工かな。

>> 高融点金属材料を使用して、熱による穴加工かな
> コトバが抜けているから、そのままでは理解不能で調べようもない。
> 想像する方式はあるが穴あけには非実用的。
iwanaiの評論家的な感想が目にあまります。
半導体製造装置の石英部品加工で良く使用されている手法です。
ガラス加工に適している熱加工で、ガラスへのストレスも少ない手法です。
経験が無いのに、空想の評論は迷惑です。
ガラスは、量産には不向きな部材で、職人のノウハウのかたまりですから、
中々オープンにはなっていませんね。

０．２ｍｍの平ガラス板（３００×３００）の厚さと大きさが問題で、
通常の機械加工での穴明け歩留りが心配です。

Answer

ダイヤモンドの軸付砥石、ドリルを使った加工となり、回転数が１万程度の一般のマシニングセンターでは無理な、高回転と微細で滑らかな送りが要求されます。
工具は
　　　http://www1.odn.ne.jp/ute/syouhinannai/tyouseimitu/maikuroana/syoukei.html

普通のガラスは、これにあるアルミナや石英ガラスに較べると易しいが、金属加工のようにはいきません。

その他の加工法。これらと競うことにもなるので、総合的に考えてみることが必要です。

ソーダガラス穴あけ加工 使用装置：エキシマレーザ
　　http://www.tosei.co.jp/technology/case_03.html
　　
　　ウォータージェット加工
　　http://www.waterjet.co.jp/waterjet.html
穴径がすこし厳しいかも

０．２ｍｍガラス板にφ０．８ｍｍ穴加工の方法