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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：「出ガス（デガス）」について）
出ガス（デガス）とは？
2023/10/18 03:25
このQ&Aのポイント
- 出ガス（デガス）とは、蒸着工程などにおいて発生するガスのことを指します。
- 蒸着工程では、材料が高温で加熱されることで、表面から気体状態へと変化し、ガスが発生します。
- この発生するガスのことを出ガスと呼び、デガスとも言います。
※ 以下は、質問の原文です
「出ガス（デガス）」について
2010/07/23 12:04
蒸着工程などに関することで、よく「出ガス（デガス）」という
言葉を聞きますが、これはどういった意味合いなのでしょうか。
質問者が選んだベストアンサー
ベストアンサー
2010/07/24 10:46
回答No.2
真空装置の内面や、装置内部に持ち込んだワークの表面には、大気に含まれ
たガス分子が吸着されています。これらの表面を真空に曝すと、この表面か
ら吸着されたガス分子が飛び出して来ます。この現象を脱ガス(out gas,
degassing) と呼びます。脱ガスの時定数は非常に長いので、到達真空度を
決定する重要な要素となります。
アウト ガスという呼び方も一般的でしょう。
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その他の回答 （3件中 1～3件目)
2010/07/25 01:10
回答No.3
小生もアウトガスで検索した方が、色々な資料が見つかると思います。
温度や気圧を変化させると、アウトガスが厄介です。
ですから、そのような性質の材料は原則使用できません。（使用しません）
お礼
2010/07/27 09:40
ありがとうございました。
2010/07/24 09:07
回答No.1
英語でdegass、degassesのことで、系内にある空気などのガスを抜くことですね。
お礼
2010/07/27 09:36
理解できました。ありがとうございました。
お礼
2010/07/27 09:39
詳細なご説明を頂き、ありがとうございました。