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CVDコーティング材料の相性とは？
2023/10/17 19:33
- CVDコーティングは伸線ダイスに施されるが、合金鋼との相性が悪いことがある。
- 合金鋼に施したCVDコーティングは摩耗が激しく、しわのようなものができる。
- CVDコーティングの短所として、耐摩耗性に欠けることがあげられる。
CVDコーティングの材料（金属）に対する相性
2009/03/04 13:38
伸線ダイスにCVDコーティングを行っています。材料は、ほとんどが鉄で、軟鋼、合金鋼、炭素鋼などです。その中で、合金鋼はCVDコーティングと相性がよくないのです。伸線ダイスに施したCVDコーティングが他の鋼種と比べて摩耗が激しいように感じます。超硬本体に痛みはなく、コーティングにしわのようなものができてしまいます。CVDコーティングの短所と長所を教えていただけないでしょうか？
回答 （2件中 1～2件目)
この業界のCVDが今一歩よく判りませんが、CVDには大きく分けて
２種類あり、基板のドーピング等を嫌う半導体では、熱影響を
受けさせないプラズマが主流です。基板のドーピングが必要な部分は
熱拡散等の工程で行ないます。
さて、その2種類のURLは以下です。
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E7%86%B1CVD
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD
参照して下さい。
小生の推測ですが、合金は多くのレアメタル等が入っていて、
熱CVDを行うと、その成分が膜にドーピングして膜本来の性能がでない
、又は母材が熱影響で劣化して薄い膜にもダメージを与えている
が見解です。
他の業界からの水平（横）展開ですし、自信はありません。
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ダイスが超硬のCVDコーティング品で、
ダイスで伸ばす相手が鉄という事でしょうか.
CVDコーティングと言ってもTiNだのAl2O3だのと多様ですし、
合金鋼と言っても合金成分や炭素量によってこちらも多様なので、
まあ何とも言えない部分はありますね.
CVDコーティングのメリットは、代表的なものを挙げれば、
厚膜化が可能な事、それとAl2O3(アルミナ)など
他の手法では実現の難しい物質のコーティングが可能な事ですかね.
デメリットも多く、作業温度が比較的高い事や、
表面が引張応力になる事などが挙げられます.
母材もコーティング膜も、
しわになるほど柔らかくはないと思いますので、
CVDコーティング特有の、クラック(割れ)かなとも思います.
お礼
2009/03/06 09:05
ありがとうございます。
参考になりました。
あと、合金鋼（クロムマンガンモリブデン）の伸線時に石灰石鹸、もしくはﾎﾞﾝﾃﾞﾘｭｰﾍﾞの潤滑どちらでも、このしわのようなコーティング摩耗が発生しやすいです。その他の低カーボン材や、減面の大きいハイカーボン鋼ではこのしわはなくなめらかに摩耗していき耐久性もいいです。
材料と、潤滑剤とコーティングの関係って合金鋼に関してどうなんでしょうか？
よろしくお願いします。
お礼
2009/03/09 08:02
ありがとうございます。
ほとんど初心者なのでこのURLは参考になりました。
コーティングの本来の性能を発揮できるような潤滑剤を探すことに重点を置いてみます。