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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:POCl3に耐性のある素材)

POCl3に耐性のある素材を探しています

2023/10/17 17:21

このQ&Aのポイント
  • 半導体関連の装置の設計・製作をしている私は、POCl3に耐性のある素材を探しています。
  • 既存の材料では耐性が不十分であることがわかっており、PTFE、PFAなどの樹脂系素材が良いとされています。
  • しかし、POCl3に対してより高い耐性を持つ材料についての情報は限られています。知識のある方からのアドバイスをお待ちしています。
※ 以下は、質問の原文です

POCl3に耐性のある素材

2009/04/21 15:47

 こんにちは。私は半導体関連の装置の設計・製作をしています。
 ユーザ様からの要求で、オキシ塩化リンという有毒ガスを使用する装置を開発しています。私の会社では初めて取り扱う装置で、あまりソレに関する知識のある方が居ません。
 上記のガスに耐性を持った材料を調べている最中で、あまり耐性に関する資料が無いと思い、投稿させて頂きました。
 今までの調査で、SUS316L等はあまり良くなく、PTFE、PFA等の樹脂系は良いという事は分かったのですが・・・。
 どなたか、POCℓ3(オキシ塩化リン)に耐性のある素材をご存知の方いらっしゃいましたら、教えて下さい。宜しくお願いします。

質問者が選んだベストアンサー

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2009/04/22 07:56
回答No.2

MSDSを見ますと、混触危険物として”金属”と記載されており、ニッケル、鉛を除くとあります。

お礼

2009/04/22 09:28

 殆どの金属が混触危険物とは・・・・本当に危険な物質なんですね。
 このご回答をいただいて、改めてこれから作る装置の、安全に関する重要性を感じ取る事ができました。
 金属に関しては、インコネルぐらいしか検討していませんでした。因みに、それでも錆びる事があるみたいで(汗)
 ニッケルは、いけそうな気がしてきました。検討してみます。
 ご回答いただき、本当にどうも有難う御座いました!

質問者

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その他の回答 (2件中 1~2件目)

2009/04/21 16:17
回答No.1

オキシ塩化リンは水と接触すると塩化水素ガスを生成します。
非常に取り扱いに注意すべき危険な物質です。
化学合成に使用することがありますが、弊社の場合はグラスライニング缶を使用します。配管も一部はグラスライニング製です。

お礼

2009/04/21 22:28

 ご回答、有難うございます。
 成る程、そういえば、タンク等で石英を使用しているメーカが有ったのを
思い出しました。
 という事は、ガラス系のものに相性の良いモノが多いんですかね?
 因みに、金属で相性の良いモノって、有るんでしょうか?
 例えば、真鍮とか・・・・・。

質問者

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