真空内でのフィルム固定について

”静電チャック” というキーワードで検索されてはいかがでしょうか。
国内大手では２社あたりが取り扱ってます。
数百グラム程度の電子部品でも固定できたと思います。

本件に使用出来るかは分かりませんが、参考までに、
弊社で食品の包装ライン等での経験を少し書きます。
トランスファ－上の食品包装用四角フィルム(家庭用ラップと同じ材質)を食品挿入ステ－ジまで搬送時に、
位置決めと搬送風で位置がズレ無い為に治具に静電気のON、OFFの切替機構で対応しました。
米袋印刷機の印刷工程のしわ対策に静電気ロ－ルを使用しました。
静電気を切っても軽いフィルムは治具から離れませんので、上下に静電気治具を設けて、機構と切替えタイミングで
行けると思います。
経験上静電気に着かないものは殆ど無いと思います。弱い静電気で着きます。念の為に回りに簡単な静電気防止カバ－
を着けた方が良いかもしれません。

donaldさんへ
静電気発生吸着機構は昔から有りますが、自動機等に都合よく使用出来る治具は余無いと思います。
私が描いたた2件とも当然設計製作品(単品物)です。シリンコウェハ静電気吸着ピンセットは有りますが、
貴社の件をこの方法で行うので有れば、設計製作するしかないと思います。本件の場合静電気ロ－ルは関係無いので、余計なことは考えない方が良いと思います。
静電気発生電極(弊社の場合は双極型)に高電圧をかけると吸着静電気が発生します。
例1: フィルタ－無し型空気清浄機　金属板に埃がいっぱい静電気で付着させています。
例2: 樹脂の下敷き等擦ってから髪の毛が逆立つ現象も同じです。
技術屋はここのコ－ナ－でヒントを得る事は良いことだと思いますが、そのアイディアを参考に自分でも考える、調べる、工夫や勉強しないと技術が蓄積されないので、電気担当者と相談して簡単な実験治具を作ってテストする事をお勧めします。センスの良い電気屋ならば短時間で出来ます。例え本件に使用出来なくても得るものがあると思います。
宜しくお願い致します。