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テフロンチューブで高純度ガスを流せる？
2023/10/16 14:25
- 外径9.53mmの透明テフロンチューブで、99.999％のCH4,Ar,N2,H2,CO2,HClガスを流しても、大丈夫でしょうか？
- 圧力は、0.03-0.7MPa、長さは12mです。ガスが止まっている時、テフロンの気体透過性を考える必要はあるのか？
- 透明テフロンチューブは、FEPとPFAがありますが、どちらが適しているでしょうか？
テフロンチューブで高純度ガスを流せますか
2008/02/18 18:41
外径9.53mmの透明テフロンチューブで、99.999％のCH4,Ar,N2,H2,CO2,HClガスを流しても、大丈夫でしょうか？
圧力は、0.03-0.7MPa、長さは12mです。
ガスが止まってる時、テフロンの気体透過性を、考える必要はありますか？
透明テフロンは、FEPと PFAがありますが、どっちがいいでしょうか？
http://www.sanwatsusho.com/product/08_tube_01/08_01_01.html
質問者が選んだベストアンサー
浸透します。
半導体では、略常識ですので、チューブメーカーもご存知のはずです。
詳細内容は、チューブメーカーに問い合わせ下さい。
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その他の回答 （4件中 1～4件目)
フッ素樹脂とチューブで検索すると、デュポン製以外の日本で製作しているフッ素樹脂チューブメーカーが判ります。
例えば、ニチアスやバルカー、ダイキン<原料メーカーだったかな？>。
そこへ、問い合わせするのも良いでしょう。
多少透過はします。塩酸は、液体でも透過して表面に結晶化します。
サラン樹脂系その周りを被覆したりしています。
お礼
2008/02/19 10:30
ありがとうございました。
塩酸は液化塩化水素の蒸発ガスを使っています。この場合も、表面に結晶化しますか？
フッ素樹脂とチューブで検索すると、デュポン製以外の日本で製作しているフッ素樹脂チューブメーカーが判ります。
例えば、ニチアスやバルカー、ダイキン<原料メーカーだったかな？>。
そこへ、問い合わせするのも良いでしょう。
多少透過はします。塩酸は、液体でも透過して表面に結晶化します。
サラン樹脂系その周りを被覆したりしています。
専門家ではないので何に対して大丈夫か良く理解できませんが、
デュポン製のチューブで高機能の物があります。
お礼
2008/02/18 19:32
ありがとうございました。
すぐ、調べてみます。
お礼
2008/02/19 11:04
お忙しい間、ありがとうございます。
液化塩化水素ガスのチューブはステンレスに決めます。