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ガラスのスクラッチ評価手法とは？
2023/10/16 05:28
- 現在、石英ガラスの研削加工において、スクラッチの発生が問題となっています。しかし、スクラッチの確認方法は目視に頼るしかありません。この問題を解決するためには、ガラス表面のスクラッチを撮影し、その大きさや個数を評価できる装置が必要です。しかし、ワークサイズが大きいため、この装置の開発は困難です。
- 現在、石英ガラスの研削加工において、スクラッチの発生が問題となっています。スクラッチの確認方法としては、目視確認とマイクロスコープでの撮影がありますが、目視に頼るため効率が悪く、困っています。ガラス表面のスクラッチを撮影し、その大きさや個数を評価できる装置があればと思っていますが、ワークサイズが大きいため難しいのかもしれません。
- 石英ガラスの研削加工において、スクラッチの発生が問題となっています。現在のスクラッチの確認方法は、目視確認とマイクロスコープでの撮影ですが、効率が悪いため困っています。ガラス表面のスクラッチを撮影し、その大きさや個数を評価できる装置があればと思っています。ただし、ワークサイズが大きいため、装置の開発は困難かもしれません。
ガラスに発生したスクラッチの評価手法
2008/07/23 21:00
現在、石英ガラスの研削加工において、スクラッチの発生が問題となっております。現在のスクラッチの確認方法としては、?投光器を用いた目視確認、?目視確認したものをマイクロスコープで撮影、というように、目視に頼っているのが現状であり、能率が悪く困っております。
ガラス表面で発生したスクラッチをある程度の範囲（□100?程度）で撮影し、スクラッチの大きさや個数を評価できるような装置があればと思っているのですが、そのような装置はあるのでしょうか。
ワークサイズが大きい（マスク材です）ため、難しいのかとは思っておりますが、ご存知の方、ご教示願います。
スクラッチに関して補足します。
鏡面研削段階でのスクラッチのため、投光器を用いなければ、目視することができません。大きさは１?以下です。
回答 （4件中 1～4件目)
レンズ検査装置とかガラス検査装置とか平行光光源とかで検索されると
お探しのような検査装置が各社の検査装置が引っかかってきます
回答（２）の方が言われているように 検出する対象と大きさ等（薄さとか）
検査タクトでも価格の違いが出てきますが
画像処理で自動計測は可能になっていますので
探されてみたらいかがでしょうか。
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Siウエハを含めて、スクラッチの（最終）確認は、
※ 暗室で、若い女性が行なう
が、一般的です。
動物的見地から、女性は周辺の変化に敏感で、その感覚は若い程、
生娘程、優れていると聞いております。
できれば、特にアジアから職場体験研修で来ている女性を、国又は
県から紹介を受け、定期的に採用していく方法もあります。
一度、検討してみて下さい。
画像処理で対応可能と思いますが、ワークをお借りして評価する必要があります。
照明に関しても、いろいろ実験する必要がありそうですね。
暗視野またはローアングルで、対応できないでしょうか？
スクラッチの大きさですが、1mm以下とのことですが、幅の検出精度はどれくらい必要ですか？
またスクラッチの発生する方向は、一方向でしょうか？
これはどうでしょう？
お値段との兼ね合いでしょうか･･･。
