真空ポンプの選定における安全率について

要は真空容器内に毎回新たに装着する試料からの発生ガス量をどれくらいに
見積もるかということだと思います。実際の装置においては配管のインダク
タンス等の方が大きいので，あまり神経質に考えることはない様に思いま
す。大筋の見積りを立てて考え方を整理したのち，ポンプメーカーに相談さ
れるのが良いと思います。高圧ポンプに関しては低圧ポンプとの相性等もあ
ります。ノウハウを持ったメーカー技術者が相談に乗ってくれると思いま
す。ご覧になられたポンプ選定の資料では余裕を持って選定することを推奨していたとのことですが，素人が選定する場合は見落としがあるので，結果として装置が反古にならない様にという意味ではないのでしょうか？
漏れのない様に見積り条件を洗い出しておけば大丈夫だと思います。

追加コメントします。
確かに容器内の内部ガスの発生量は予測しがたく，多少は余裕があったほうがよいと思われます。しかし一般的には容器内の表面積に対し，毎回処理・充填する試料の表面積の比は小さく，容器内のベーキング処理等に気をつけておけば，それほど余裕を取って設計する必要はないと考えます。必要以上に設備にコストを掛けても，期待した効果は得られないということもありますので，ある程度的が絞れた段階で真空ポンプメーカーに相談してみてください。あえて必要裕度を算定するなら，処理・充填する試料の表面積からのガス発生量(付着水分量を仮定すれば，分子量からガス量を推算できます）を想定してみてください。

回答（1）に追加します。
真空容器容量V（m3）から排気速度S（m3/ｓ）で排気の考え方を下記します。
容器内圧力がｐ（Pa)，ｄｔ秒後にｐ＋ｄｐ（Pa)になるとすると
－VdP=Sp ｄｔ
ｔ＝0のときｐ0として上式を解くと
ｐ＝ｐ0 exp（-S t/V)
が得られます。Sはポンプメーカーカタログに記載されていますので，排気曲線（ｐ－ｔ曲線）は時間ｔをパラメータに描くことができます。すなわち実際のポンプ系の有効排気速度は時間とともに急激に低下して行き，ある時点で真空度は飽和します。これが到達真空度になります。実際には内部ガス放出により，到達真空度は徐々に上がります。ベーキングを行って予め内部ガスを強制的に放出させるのが一般的です。
ターボ分子ポンプなどは低圧側のポンプを有しますが，真空到達時間は高真空側のポンプ排気速度が支配的になります。ポンプ組み合わせについてはメーカーの推奨しているものがありますので，真空ポンプメーカーに相談ください。

低圧の場合は概ね提示の計算で良いと思います。ただし，配管の抵抗については考慮する必要があります。以下に計算式を示します。

Q＝C（P1-P2)

Q=気体流量(Pa・L／min)
C=配管のコンダクタンス（L／min）
P1=入口圧力(Pa)
P2=出口圧力(Pa)

1/S＝1/C　＋　1/S0

S=実効排気速度
S0=ポンプ排気速度