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TMAHとSiのエッチング反応比、及び反応式について
2023/10/15 21:44
- TMAH(テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)の22wt%水溶液における、Si( シリコン)とTMAHの エッチング反応比は1:1と聞いたのですが、本当なのでしょうか?
- TMAH水溶液中でSiを1mol分エッチングするとしたら、TMAHは2mol必要なのでは?と思ったのですが、実際はどのようなエッチング反応比なのでしょうか?
- TMAHとSiのエッチング反応式をご存知な方がいらっしゃいましたら、こちらだけでも教えていただけないでしょうか?
TMAHとSiのエッチング反応比、及び反応式につ…
2008/11/30 18:30
TMAHとSiのエッチング反応比、及び反応式について
物理・化学の初心者です。
TMAH(テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)の22wt%水溶液における、Si( シリコン)とTMAHの エッチング反応比は1:1と聞いたのですが、本当なのでしょうか?
Si + 2OH- + H2O → SiO32- + 2H2↑
上記のシリコンのエッチング反応式からすると、エッチング反応には2つの水酸基(OH-)が必要だと思うのですが、TMAHの化学式をみると、窒素(N)にメチル基(CH3)が4つと、OH-が一つ付いていました。
TMAH水溶液中でSiを1mol分エッチングするとしたら、TMAHは2mol必要なのでは?と思ったのですが、実際はどのようなエッチング反応比なのでしょうか?
また、TMAHとSiのエッチング反応式をご存知な方がいらっしゃいましたら、こちらだけでも教えていただけないでしょうか?
回答 (1件中 1~1件目)
以前、半導体のウエットプロセス技術者をしていました。
専門は化け学ではありません。
他のアドバイスがないので、この様な内容は小生は薬液メーカーの方に
サポートして頂き、客先と折衝をしていました。
以上が簡単でありますが、化け学屋ではない者のアドバイスです。
know-howではなく、know-whoで対処を。
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