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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:ヘリウムリーク量と空気中でのリークとの関係について)

ヘリウムリーク量と空気中でのリークとの関係について

2023/10/15 19:25

このQ&Aのポイント
  • ヘリウムリーク量とは、ワーク内部の真空度を測定するために使用される値です。
  • ワーク内部の真空度が10^-5Paの場合、ヘリウムでのリーク量は10^-12Pa・m^3/secとなります。
  • ワーク内が10^-3Paになるには、1気圧の大気中ではどのくらいの期間がかかるのか気になります。
※ 以下は、質問の原文です

ヘリウムリーク量と空気中でのリークとの関係について

2007/02/07 17:46

現在ワーク内の真空度を数万時間単位で保証するため、ヘリウムリークテストにてワークのリーク量を測定しているのですが、この値って1気圧の空気中の場合には換算は可能なのでしょうか?
たとえば、ワーク内部の真空度が10^-5Paだとしてヘリウムでのリーク量が10^-12Pa・m^3/secのときワーク内が10^-3Paになるには1気圧・大気中ではどのくらいの期間がかかるのか?ということなのですが、どなたか知見をお持ちの方がおられましたら、宜しくお願いします。

ワーク内は10cm2です。

回答 (1件中 1~1件目)

2008/01/31 21:35
回答No.1

すいません。逆に質問宜しいでしょうか?
ヘリウムのリーク量はどの様に計測されるのですか?

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