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超純水用ポンプについて
2023/10/15 08:17
- 半導体ウエハー洗浄の実験に適した超純水用ポンプについて、条件や適したメーカーや型式、材質・構造について教えてください。
- 超純水用ポンプを使用して半導体ウエハー洗浄の実験を行いたいです。パーティクルや金属溶出がほとんど無く、脈動圧も小さく、流量や吐出圧力の条件も満たすポンプを教えてください。
- 半導体ウエハー洗浄の実験に適した超純水用ポンプについて教えてください。流量は5~20L/min、吐出圧力は0.25~0.5MPaで、温度は常温です。また、パーティクルや金属溶出がほとんど無く、脈動圧も小さいポンプが望ましいです。
超純水用ポンプについて
2007/11/13 14:54
半導体ウエハー洗浄の実験で、超純水をポンプで圧送したいのですが、
下記条件に適したポンプがあれば、ご教示いただけないでしょうか。
ポンプメーカーや型式、適した材質・構造等に関する情報についても
ご教示頂けると幸いです。
どうぞよろしくお願い致します。
(条件)
・パーティクルや金属溶出が無い(ほとんど無い)
・脈動圧が無い(小さい)
・流量:5~20L/min、吐出圧力:0.25~0.5MPa、温度:常温
質問者が選んだベストアンサー
前にイワキポンプから「レビトロポンプ」というインペラがポンプ室内でフローとして回転するポンプの紹介を受けました。半導体製造工程にどうでしょうかという触れ込みでしたが、仕様が手元にありません。また、HPにも見つかりません。営業の方に問い合わせてみてはいかがでしょうか?
わからないことだらけの回答で申し訳ありません。ご参考になれば幸いです。
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その他の回答 (4件中 1~4件目)
下記のH.Pに、貴社でお探しの最適なポンプがあります。
http://www.me-giken.jp/
お礼
2007/11/15 09:22
ご回答ありがとうございます。
選択肢の一つとして、検討させて頂きます。
ポンプの後に、アキュムレータ(ポンプメーカにあります)
を取り付けて脈動を抑えたりしますが、完全ではないため、
それ以上の要求であれば、ポンプ圧送は、あきらめて、
窒素加圧による加圧圧送がいいのではないでしょうか。
お礼
2007/11/14 12:41
なるほど、アキュムレータという物があるのですね。
窒素加圧圧送も検討してみます。
どうもありがとうございました。
日本ピラーのベローズポンプは、どうでしょうか参考にしてみて下さい。
http://www.pillar.co.jp/contents/products/pfh_bellows.shtml
私は、薬液供給に使っています。金属イオンは、溶出していません。
お礼
2007/11/14 09:24
ご回答ありがとうございます。
若干の脈動はあるようですが、空気圧駆動ってとこが魅力ですね。
選択肢の一つとして検討させて頂きます。
重ねて質問させて頂き恐縮ですが、脈動をさらに抑える方法をご存知でしたら
教えていただけないでしょうか?
お礼
2007/11/14 09:34
ご回答ありがとうございます。
?イワキのHPに磁気浮上型渦巻ポンプ(レビトロポンプ)の概略仕様は
掲載されていました。
無発塵、無脈動が魅力的ですね。
詳細な仕様をメーカーに問い合わせて、検討させていただきます。