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ウエハーの洗浄について
2023/10/15 01:28
- ウエハーの洗浄方法について相談です。クリーンルーム内でウエハーを放置した際に水滴が付着しました。
- 熱処理やプラズマ洗浄を試しましたが、水滴の跡が残ってしまい接着強度が不足しています。
- ダイシングフィルムはUV硬化型で、パッドはAuです。どのような洗浄方法が効果的でしょうか？
ウエハーの洗浄について
2006/04/28 08:38
ダイシングしたウエハーをダイシングフィルムに貼った状態で、クリーンルーム内で放置してしまったため、表面に水滴（結露？）が付いてしまいました。
ダイマウントを行ないオーブンで熱処理をしましたが、水滴の跡がパッド部に残っている状態で、ワイヤーボンディングができない状態です。
さらにプラズマ洗浄を行いましたが、まだ接着強度が不足しています。
更なる洗浄方法をご教授いただければと思います。
ダイシングフィルムはUV硬化型で、すでにUVをあてています。またパッドはAuです。
回答 （2件中 1～2件目)
私の「先ずはＵＳ ＰｏｗｅｒをＵｐさせることが得策でしょう」
詳しくは、１）汚れの状況にあわせて洗浄を見直してください
２）再付着等のシステムとしての確認も行ってください
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冒頭から申し上げますが、既にダイシング＆ＵＶ完であることから
不具合部（付着物）除去に関するアドバイスは私にはできません。
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内容から大変困難であることが認識できます。
（ダイシング済みでＵＶ照射済み）
プラズマでも駄目であれば、当該品における「ボンディング特性」の
向上策しか手段が無い様に思えます。
この場合、基本的なことですが、いかにして付着物をＷＢで除去して新生面を確保するかがキーポイントになります。
先ずはＵＳ ＰｏｗｅｒをＵｐさせることが得策でしょう。
これで駄目であれば基本３条件（ＵＳ，荷重、時間）をマトリックス
にして組み合わせ条件評価を行いましょう。
これでも駄目であれば、かなり大掛かりな条件変更になりそうですね。
（温度、イニシャルボール、ＷＢパラメータ）
ところでＰａｄは本当にＡｕなんですよね？Ａｌではないですよね？
※Ａｌであれば、この場合、ガルバニック腐食と考えられるので。
お礼
2006/05/08 12:47
ご回答、ありがとうございます。
PadはAuのため、腐食は無いものと考えております。
純水での洗浄とブローでの乾燥で少しでもボンディングへの影響を減らせるようにトライするつもりです。
また追加でアドバイス等、ありましたらお願いいたします。