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高温フッ酸雰囲気に耐食性のある表面処理方法
2023/10/14 18:38
- 部材の耐食性を向上させるためには、水と高温のフッ酸混入排ガスによる気液接触の環境下での耐久性が重要です。
- 従来の試みでは、耐食合金やフッ素コーティング、Niメッキなどを施したりしましたが、効果が得られないことがあります。
- しかし、ステンレス表面を特殊な処理（コーティング、塗布など）することで、高温フッ酸雰囲気に対する耐食性を向上させる方法があります。
高温フッ酸雰囲気に耐食性のある表面処理方法
2006/12/22 09:29
水と高温（500～600℃）のフッ酸混入排ガスによる気液接触の環境下で、部材が短期間に腐食して溶けたり、穴が開いてしまいます。
SUS316L、ハステロイなどの耐食合金を試したり、ステンレスにフッ素コーティングやNiメッキを施したりしましたがいずれもうまくいきません。
ステンレス表面を処理（コーティング、塗布等）して、高温フッ酸雰囲気に耐食性を持たせる方法があるようでしたら教えてください。
回答 （5件中 1～5件目)
セラミックスの溶射などはいかがでしょうか。
一応、耐高温、耐薬液性ともその他のものよりは
優れているはずです。
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色々試されたようですね。
フッ酸の実績はありませんが、耐食性、耐熱性、耐硫化性に特にすぐれた効果が得られる「アルミ溶融メッキ、拡散処理」はいかがでしょうか？
相談先：東富士電機?第二営業部
処理メーカ：伸光金属工業?
このような 過酷な環境下では 無機皮膜処理が 有効と 思われます
ステンレスにも 加工可能と 言っておりましたので(記憶ですが)
フッ酸混入排ガスの防食性は分かりませんが
耐熱はクリアーしていると思います
以前にテストをお願いしました、会社様の URL お知らせしておきます
ご参考までに
大変なコスト高にはなりますが、タンタルはフッ酸に対して耐食性を有するはずです。装置にライニングが出来ると良いのですが。
半導体（シリコン）のエッチングやはく離（ウェット）プロセスなどではフッ酸をベースの混酸を使うことがありますが入れ物は硬質塩ビでした。ポン太さんの600℃のフッ酸ガスがまともに塩ビに吹き付けられたら熱だけでもやられてしまいますがどんな配置なのですか？気液接触にプロセスに至るまでの容器の材質は？ある空間に突然フッ酸が出現するのですか？
ウエハーの静電チャックのようにアルミナを金属表面にコーティング(?)できませんか。もしくはよくフッ素樹脂を燃やすとフッ酸が発生するからそれなりの設備（スクラバー？）で焼却せよとフッ素樹脂屋のカタログにかいてあるからそちらの方面に問合せるとか?
補足
2006/12/22 11:05
お返事いただきましてありがとうございます。
ガスを熱分解することによってフッ酸が発生します。
この熱分解で高温になったガスを冷却したり、フッ酸を除去するためにガスの流れる途中で散水しているのですが、気液接触部で腐食してしまいます。
冷却後は塩ビを使っていますが、冷却前の気液接触部では樹脂は使えません。
お礼
2008/03/03 08:59
ご回答ありがとうございます。
ウエットな高温下でフッ酸に対してはセラミック溶射でもダメだったと聞いたことがあります。
本件はシリカ系コーティングを施してもダメでした。
結局は根本的な解決には到ってないのですが、テフロンコーティング品のうえに金属板をカバーして、マメに交換するという方法に落ち着いています。
今後、さらに突き詰めていく必要が生じましたらご相談させてください。