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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：ウエハの反りと荷重）
ウエハの反りと荷重
2023/10/14 16:41
このQ&Aのポイント
- ウエハの反りと荷重についてご質問です。反っている丸いウエハと反りの無い平らなウエハがありますが、荷重をかけて同じ反り量にするにはどのように計算すればいいのでしょうか？
- ウエハの反りと荷重についてのご質問です。荷重をかけて平らなウエハを反りのあるウエハと同じ反り量にするには、どのような計算が必要なのでしょうか？
- ウエハの反りと荷重についての質問です。反っているウエハと反りの無いウエハを同じ反り量にするためには、荷重の計算が必要なのでしょうか？
※ 以下は、質問の原文です
ウエハの反りと荷重
2005/02/04 17:17
ガラス、Si等の反っている丸いウエハと反りの無いウエハがあります。反りの無い平らなウエハに荷重をかけて同じ反り量にする場合、荷重はどのように計算すればいいのでしょうか？
ヤング率等から算出できるものでしょうか？
アドバイスお願いします。
回答 （1件中 1～1件目)
2005/02/07 09:21
回答No.1
形状，寸法，材料の機械的性質（ヤング率，ポアソン比），支持方法，荷重条件などが判り，特定の力学モデルであれば，最大たわみ及び最大曲げ応力は計算できます。材料力学の本にあると思いますので，確認してください。
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お礼
2005/02/07 09:25
ありがとうございます、遠い昔に勉強した記憶はあるのですがすっかり忘れていました。早速調べてみます。