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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:プリズムについて)
プリズムについて勉強中。装置がパターンを基準に補正する仕組みとは?
2023/10/14 13:17
このQ&Aのポイント
- プリズムになる可能性がある手前のガラスについて知りたい。
- 装置はパターンを基準に画像の補正を行う仕組みを持つ。
- 真ん中のパターンがずれるとどのような影響があるのか知りたい。
※ 以下は、質問の原文です
プリズムについて
2005/04/26 19:51
勉強させて頂いてます。
今回、4枚のガラスをはりあわせたワークを使っているのですが、真ん中にパターンがあるのですが、このパターンを基準に装置が画像をみて補正をおこなうのですが、この手前のガラスがプリズムになることがあるのでしょうか。厚みは、1枚が1mm程度です。もし、プリズムになるとしたら、真ん中のパターンはどのくらいずれて見えるのでしょうか。
お願いします。
回答 (1件中 1~1件目)
2005/04/27 11:32
回答No.1
(1)状況ですが4枚張り合わせたガラスにパターンとありますが
何枚目にパターンがあるのでしょうか?
使用している状況がわかりませんので一般論しか言えませんが
基準面等の補正とはガラスステージ?が絶対位置に存在との前
提での補正となりますので手前のガラスがプリズムになるとは
他に問題があるか、もしくはパターン補正のガラス基板の問題
ガラス板の研磨で平行度がでていないことが疑われます。
(2)4隅でガラスの厚みを測定してみてはいかがですか、異なる
数値がでてくればガラスの光路長が異なることになります。
(1)(2)が解れば概略ですが中心パターンのズレ量が判明する
かもしれません。
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補足
2005/04/27 15:26
?10mm角程度のガラスです。パターンは2枚目、真ん中です。
?10ミクロン端でちがうとどの程度ずれるでしょうか。
お忙しいでしょうが、宜しくお願いします。