真空（中真空レベル）容器の漏れ試験について

Question

１０ｍ３くらいの大きさの真空容器（真空ﾎﾟﾝﾌﾟも付属）を作ろうとしています。製作後に空圧による漏れ試験は実施するのですが、実際に真空にしてからの漏れ試験（漏れ箇所を探す）をどのようにしたらよいか、迷っています。
到達すべき真空度は、６Paです。
試験方法としての候補は、
?空圧試験でOKなのだからその後の真空時の漏れ試験は行なわない。
?容器外側の溶接部やﾌﾗﾝｼﾞ部にｱﾙｺｰﾙなどの揮発性液体を塗布し、真空計（ﾋﾟﾗﾆｰ）の指示の変動を確認して漏れ箇所を特定する。
?ﾍﾘｳﾑﾃﾞｨﾃｸﾀを使用する。

確実なのは?ということらしいのですが、
?の場合、計測機器がかなり高価で扱いに多少の熟練が必要と聞いています。また、用途が主に高真空用であり、中真空には向かないのではないかといった話も聞かれます。
ということもあって、採用に踏み切れていません。

できれば?の方法ででいきたいと考えているのですが・・・
大丈夫なものでしょうか？

どなたか、経験あるいは知識のある方御教示いただければありがたいです。

Answer

かなり大きな真空容器ですね。

当方真空装置を使用しているものです。
容器にピラニ真空計が接続されているという理解でよろしいでしょうか？
それを前提で、
到達真空度６Paであれば?で”ある程度の漏れ”であれば確認できますね。
ただしピラニで感知できるリークのみです。長い時間をかけて圧力が上昇
する微小リークは多分わからないのでないでしょうか？

?のHeリークディテクターは（物によっては？）低～中真空領域のリークも
測定できますよ。
装置自体かなり高価（うん十万～うん百万？）ですがレンタルも可能です。
私どもでは買えないのでＵＬＶＡＣのサービス部門でレンタルしています。
それに毎日使うものでもないので。
http://www.ulvac-techno.co.jp/

取り扱いに注意がいるので慣れていないならば機器レンタルも含め測定依頼
という手もあります。ちゃんと見積をしてもらわないとなんとも言えません
が、１０万～２０万円程度でおさまるのではないかと思います。←これは確
認してください。

求めるリーク量にもよりますが、ちゃんと調べたいならば?がいいと思います。
最寄のアルバックテクノにご相談されてみてはいかがでしょう？

＞?のアルコール等の揮発性液体を使用しての漏れ箇所探しというのは一般的にはよく行われている方法でしょうか？

手っ取り早くもれを確認するにはよく使う手法です。
ちなみにうちではエタノール以外は使いません。
他の揮発性液体のポンプやチャンバ内構造物への影響を考えるとちょっと使いづらいです。確認すればいいのですが…

お役に立てれば幸いです。

真空容器の漏れ試験について