絶縁距離とは？高周波での影響は？

数GHｚで５ｋVとのことですが、この周波数では高周波のエネルギ－が導体を通るのではなく、ケーブルや導波管に沿って進みますので形状をよく考慮しないとアンテナとなってしまい空間にエネルギ－が出てしまいます。似た用途ではレーダーの発振用電子管や電子レンジなどになりますが、電子管自体の構造や電子管からでたエネルギ－を導くダクト（導波管）は高周波回路技法に従って精巧に設計されています。この周波数帯を伝送する同軸ケーブルの仕様をリンクに示しますが、２GHｚで１１ｋVの耐圧があるように見えるものもあります。ただし、このケーブルを１０ｃｍくらい切って使えば導線代わりにできるとは思わないで下さい。ミリ単位で長さを決め、端部を適切に処理しなければ電力を伝えることすら出来ません。

周波数帯にもよりますが、殆どの物は高周波領域で電気が通ってしまうようになります。正確には表面を電気が走るようなイメージですね。　通常表面処理などで使われるＰＶＤは直流スパッタと言われる現象で対象ワークに対して皮膜を形成させますが、高周波スパッタの場合は皮膜(ターゲット)が導電体でない物、例えばセラミック等でも飛ばすことができます。条件が書かれていませんので詳しくはお伝えできませんが、実際には試験を行って確かめないと少々危険かもしれません。